微電子技術(shù)和計算機科學技術(shù)對儀器儀表的巨大促進作用是無可置疑的。新器件的問世、ASIC電路(Application Specific Integrated Circuits)的興起;80年代起，圓片規(guī)模集電路WSI ( Wafer ScaleIntegration)的發(fā)展，在整個硅大圓片的規(guī)模上集成一個完整的電子系統(tǒng)或子系統(tǒng)成為現(xiàn)實;三維集成技術(shù)又使芯片上的電路元件呈立體布局;表面封裝技術(shù)(SMTSurface Mounting Technology)使電子元器件成為一個無引線或短引線，大小僅有幾毫米的微型元件;DSP芯片、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)芯片的問世和飛速發(fā)展使進30年來已充分發(fā)展的各種信號處理算法; (時域平均、相關(guān)分析、數(shù)字濾波、平滑技術(shù)、頻譜計算等)在儀器設(shè)計中得到充分的應用;加上進10多年來對微機械技術(shù)(MEMS)的致力研究，使集合微執(zhí)行器、微驅(qū)動器、微能源以及微傳感器和控制電路、信號處理裝置等于一體的微型機電系統(tǒng)、微儀器成為可等于一體的微型機電系統(tǒng)、微儀器成為可能。

　　凡此種種，都使儀器儀表不僅在精度方面有了極大的提***，而且在小型化、微型化方面有了很大的發(fā)展。至今，掌上式頻率計數(shù)器和頻譜分析儀等已面市，手提式血液分析系統(tǒng)已可取代一套大型生化儀器;手提式微金屬探測儀可方便地監(jiān)測水質(zhì)…等等。通常，用于元素分析的質(zhì)譜儀是一臺大型設(shè)備，它應具有真空、電離、探測等許多部分，目前已做得如臺式計算機般大小，并已著手向手提式方向發(fā)展。凡此種種，已顯現(xiàn)出微型儀器的發(fā)展趨勢。